【摘 要】
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芯片粘接工艺引起的器件．封装热失配会对MEMS器件的可靠性和性能产生显著影响．常用FEM模拟在分析此类问题时比较费时且缺乏明确的理论意义．文中基于单元库法思路提出了该类问题
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芯片粘接工艺引起的器件．封装热失配会对MEMS器件的可靠性和性能产生显著影响．常用FEM模拟在分析此类问题时比较费时且缺乏明确的理论意义．文中基于单元库法思路提出了该类问题的理论建模方法，并依此举例分析了芯片粘接工艺中各可变参数对双端固支梁pull—in电压的影响，其结论与Ansys模拟结果一致．该方法简单准确，对MEMS的封装．器件协同设计将有着实际的意义．
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