【摘 要】
：
以N(111)型的单晶硅片为基体,运用PECVD-2D等离子体化学气相淀积台在单晶硅片表面沉积氮化硅薄膜,通过薄膜颜色与厚度间的关系探讨了制备工艺参数对薄膜厚度的影响,用原位纳
【机 构】
：
中国矿业大学机电工程学院,中国矿业大学材料科学与工程学院,摩擦学国家重点实验室生物摩擦学中心
论文部分内容阅读
以N(111)型的单晶硅片为基体,运用PECVD-2D等离子体化学气相淀积台在单晶硅片表面沉积氮化硅薄膜,通过薄膜颜色与厚度间的关系探讨了制备工艺参数对薄膜厚度的影响,用原位纳米力学测试系统对氮化硅薄膜的纳米硬度进行测定,在UMT-2型摩擦试验机上对不同制备工艺的硅基氮化硅薄膜进行耐磨寿命试验。结果表明:随着沉积温度的升高,薄膜厚度逐渐递减,SiH4和N2流量比越大,薄膜厚度越大;温度越高,薄膜硬度越大,耐磨寿命越长;随着SiH4和N2流量比的增加,薄膜硬度和耐磨寿命均先增加后减小。
其他文献
为解决某型直升机液压油箱内大直径活塞与筒体之间的动密封问题,采用板弹簧组合U型密封圈和双层组合密封圈进行了设计。分析了2种组合密封圈结构特点、密封原理,介绍了2种组
证券发行保荐责任是保荐人对证券发行虚假陈述给投资者造成的损失承担的赔偿责任。本文对保荐人所承担的虚假陈述责任的特殊方面进行分析论述,主要研究保荐责任的法理基础、
当前日本经济仍处在始于2002年初的周期扩张进程中。本轮周期扩张显现出一系列不同于以往的重要特征:前期衰退最重、经历时间最长、增长势头最弱、与通货紧缩相伴、内需主导
目的：探讨蒙医隔姜灸治疗慢性前列腺炎的应用及蒙医护理的临床疗效。方法：选择2013年2月~2016年10月的门诊患者66例作为研究对象,采取隔姜灸疗法及蒙医护理配合治疗。结果：患者
东日本大地震发生前,日本经济已显颓势,主要依据是增长势头趋于放缓、财政状况空前严重、消费心理已趋恶化和金融市场已不稳定。强震及其引发的次生灾害重创了日本经济,主要
<正> 一《般若经》是佛教大乘空宗宣扬本空观念经文的总名,包括《摩诃般若波罗蜜经》《般若波罗蜜多心经》《般若波罗蜜多金刚经》《放光般若经》《道行若经》《大品般若经》
<正>一宋代绘画中写意性的表现一直以来,学术界谈论到宋代绘画无不惊叹其精工逼真、惟妙惟肖的自然主义写实技巧与风格,由此而论,此篇似乎与之相左,其实不然,在宋代绘画高度
娄底市地处湘中腹地,旅游资源十分丰富,品位甚高,极具开发价值和开发前景。旅游观念滞后、资源开发粗放及设施配套不够是制约娄底旅游业发展的主要因素;确立"旅游立市"发展战
安倍价值观外交的主要内容,是以所谓价值观为纽带,形成包围中国的战略态势,然后再与中国谈判,获得利益。从地缘政治的角度,可以分析安倍外交的基本思路。安倍欲通过加强与美