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采用高真空直流磁控溅射的方法制备了结构为//Ta（5nm）/Co75Fe25（5nm）/Cu（2.5nm）/Co75Fe25（5nm）/Ir20Mn80（12nm）/Ta（8nm）的顶钉扎自旋阀多层膜,通过X射线衍射（XRD）、原子力显微镜（AFM）和振动样品磁强计（VSM）研究了退火对自旋阀的结构及磁性能的影响。结果表明：退火使得IrMn（111）织构减弱,表面/界面粗糙度在低温退火后增大,而较高温度退火后减小;退火后交换偏置场和被钉扎层矫顽力减小,而自由层矫顽力增加;退火后自旋阀多层膜交换偏置场随样品