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综述了二氧化硅(SiO2)薄膜的制备方法和研究进展,介绍了磁控溅射、溶胶凝胶法和真空镀等SiO2薄膜制备方法及其优缺点,论述SiO2薄膜在光学、电学和光电等性能研究方面的新进展,最后对SiO2薄膜的应用和发展进行了展望.
SiO2薄膜制备方法、性能及其应用的研究进展
【摘 要】
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综述了二氧化硅(SiO2)薄膜的制备方法和研究进展,介绍了磁控溅射、溶胶凝胶法和真空镀等SiO2薄膜制备方法及其优缺点,论述SiO2薄膜在光学、电学和光电等性能研究方面的新进展
【机 构】
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上海工程技术大学数理与统计学院
【出 处】
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上海工程技术大学学报
【发表日期】
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2019年3期
【基金项目】
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上海工程技术大学大学生创新资助项目(cx1821007)
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