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晶片的初始宏观形变对硅-硅直接键合的影响
晶片的初始宏观形变对硅-硅直接键合的影响
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yisheng8585
【摘 要】
:
采用建立了硅硅直接键合的简化模型,依据薄板理论分析了键合发生的条件以及原始晶片的曲率与键合后晶片曲率的关系;理论分析认为晶圆键合前有必要根据弯曲变形量来匹配键合晶
【作 者】
:
陈晨
杨洪星
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2017年4期
【关键词】
:
键合
弯曲变形
翘曲度
Bonding Warp Bow
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采用建立了硅硅直接键合的简化模型,依据薄板理论分析了键合发生的条件以及原始晶片的曲率与键合后晶片曲率的关系;理论分析认为晶圆键合前有必要根据弯曲变形量来匹配键合晶圆,并通过试验进行了验证。
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