论文部分内容阅读
真空腔体是半导体系统设备当中不可或缺的组成部分,在实际应用时,该部件的密封性能将会直接影响半导体设备的实际应用效果.基于此,本文着眼于半导体真空腔体的静态密封和泄漏问题,阐述了半导体真空腔体的静态密封要点,并论述了该部件的密封检漏方法,以期为相关工作人员带来参考.
半导体真空腔体静态密封和检漏分析
【摘 要】
：
真空腔体是半导体系统设备当中不可或缺的组成部分,在实际应用时,该部件的密封性能将会直接影响半导体设备的实际应用效果.基于此,本文着眼于半导体真空腔体的静态密封和泄漏
【机 构】
：
杭州大和热磁电子有限公司 浙江 杭州 310053
【出 处】
：
探索科学
【发表日期】
：
2021年1期
其他文献
我国开展工伤保险工作以来,在均衡企业负担,促进安全生产,减少人民群众的生命财产损失和保障职工合法权益等方面发挥了积极的作用。但目前我国安全生产形势严峻,职业病危害
江淮地区要培养好福建茶树桩盆景,需要注意以下几点: 福建茶原产我国广东、福建、台湾等省,其性畏寒。长江流域及其以北地区盆栽,须温室越冬,室温以不低于10℃为宜,并保持一
我不知道今天还有多少人记得他。但我相信今天还会有人记得他。 他的《欧阳海之歌》是60年代风靡全中国的一部书,发行两千万册,还有报纸连载,读者难计其数。当年这部书有许
1976年1月7日晚11时，周恩来总理留卜了他临终前的最后一句话：“吴大夫．我这里没事了，需要你的人很多，你去吧，他们需要你……”近20年过去了，亲耳聆听言的那位“吴大夫”将这感人肺腑
影像组学能够从CT、MRI或PET/CT影像中高通量地提取和分析大量定量影像特征,可以提供肿瘤表型及病变微环境信息.目前肺磨玻璃结节(GGN)的影像组学研究主要集中在良恶性的鉴别
1996年中央经济工作会议就明确提出，加快普通居民住宅建设是形成新的经济增长点的重要方面。 1997年，国务院又提出了将住宅产业作为国民经济的支柱产业和新的经济增长点，并于 19