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期刊论文
半导体硅晶片超精密加工研究
半导体硅晶片超精密加工研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:NC330201
【摘 要】
:
"超精密加工"作为精度极高的一项加工技术正在逐步兴起,归纳总结了硅晶片的超精密切削、磨削和研磨的加工方法,分析了硅晶片超精密加工的研究现状,并对硅晶片超精密加工的发
【作 者】
:
李媛
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2018年01期
【关键词】
:
半导体
硅晶片
超精密加工
磨削
抛光
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"超精密加工"作为精度极高的一项加工技术正在逐步兴起,归纳总结了硅晶片的超精密切削、磨削和研磨的加工方法,分析了硅晶片超精密加工的研究现状,并对硅晶片超精密加工的发展趋势和今后的研究工作进行了展望。对超精密加工方法的研究,为推动集成电路向更高层次的发展奠定了基础.。
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