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磁控溅射SmFe2GMF的工艺及膜性能研究

来源 :福州大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：ice588

【摘 要】

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采用正交试验方法研究了磁控溅射的工艺因素:溅射功率、溅射气压、基片到靶材的距离等对SmFe2超磁致伸缩薄膜制备的影响;用SEM能谱仪研究了获得的SmFe2薄膜的成分;用小角度X

【作 者】

：

彭俊华 周白杨 邓光华 王平 周军 

【机 构】

：

福州大学材料科学与工程学院

【出 处】

：

福州大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2003年6期

【关键词】

：

磁控溅射 SmFe2 功能薄膜 磁致伸缩 magnetron sputtering SmFe_2  GMF magnetostrictive 

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采用正交试验方法研究了磁控溅射的工艺因素:溅射功率、溅射气压、基片到靶材的距离等对SmFe2超磁致伸缩薄膜制备的影响;用SEM能谱仪研究了获得的SmFe2薄膜的成分;用小角度X射线掠射法研究了获得的SmFe2薄膜的结构;得到了磁控溅射制备SmFe2薄膜的优选工艺条件;并测量了该工艺条件下SmFe2 GMF的磁致伸缩系数λ.

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