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期刊论文
Kalrez在半导体工业中的应用
Kalrez在半导体工业中的应用
来源 :世界橡胶工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tklsd
【摘 要】
:
半导体的加工过程对工程技术人员分别提出了耐热、耐化学介质、超纯净等方面的要求,不同的Kalrez密封件可满足这些要求。谈文介绍了不同Kalrez胶料的性能厦其在半导体工业中的
【作 者】
:
肖风亮(编译)
【机 构】
:
广州机械科学研究院密封研究所
【出 处】
:
世界橡胶工业
【发表日期】
:
2007年2期
【关键词】
:
全氟弹性体
半导体
耐化学介质
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半导体的加工过程对工程技术人员分别提出了耐热、耐化学介质、超纯净等方面的要求,不同的Kalrez密封件可满足这些要求。谈文介绍了不同Kalrez胶料的性能厦其在半导体工业中的选择原则,概速了Kalrez胶料在芈导体工业常用化学介质中的性能。
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