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采用微波等离子体方法在硅微尖上生长了金刚石膜，并利用ＳＥＭ和Ｘ射衍射方法对金刚石膜进行了研究。
硅微尖上金刚石膜的生长
【摘 要】
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采用微波等离子体方法在硅微尖上生长了金刚石膜，并利用ＳＥＭ和Ｘ射衍射方法对金刚石膜进行了研究。
【机 构】
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中国科学院长春物理研究所
【出 处】
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吉林大学自然科学学报
【发表日期】
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1996年3期
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