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期刊论文
硅微尖上金刚石膜的生长
硅微尖上金刚石膜的生长
来源 :吉林大学自然科学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoxz
【摘 要】
:
采用微波等离子体方法在硅微尖上生长了金刚石膜,并利用SEM和X射衍射方法对金刚石膜进行了研究。
【作 者】
:
元光
金亿鑫
【机 构】
:
中国科学院长春物理研究所
【出 处】
:
吉林大学自然科学学报
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
硅微尖
金刚石
生长
薄膜
微波等离子体
silicon tips
field emission
diamond film growth
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采用微波等离子体方法在硅微尖上生长了金刚石膜,并利用SEM和X射衍射方法对金刚石膜进行了研究。
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