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谐振模块是微量震荡天平测量装置的核心部件,是影响整个装置精度最重要的因素之一。为提高谐振模块的灵敏度,对谐振模块的优化主要是改进结构尺寸。首先在Solid Works软件中建立三维模型,并针对同一高度、不同材料、对模型进行基于有限元分析法的频率仿真;通过改变结构尺寸,建立各个尺寸的模型后同样进行有限元分析;利用响应曲面法分析出各因素对灵敏度的影响强度,再找到最优结构值。通过结构尺寸优化使得谐振子的灵敏度提高了83%。