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随着新工艺和新技术的不断出现，涂层方法越来越多，膜的种类也层出不穷。氮化钛薄膜因具有许多优良的性能而得到了广泛的应用。介绍了几种制备氮化钛硬质薄膜的新方法、形成机理以及其优缺点，并展望了今后的涂层方法的发展。
氮化钛硬质薄膜的制备方法
【摘 要】
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随着新工艺和新技术的不断出现，涂层方法越来越多，膜的种类也层出不穷。氮化钛薄膜因具有许多优良的性能而得到了广泛的应用。介绍了几种制备氮化钛硬质薄膜的新方法、形成机理
【机 构】
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华中科技大学模具技术国家重点实验室
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2006年F05期
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