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用紫外光电子能谱和俄歇谱研究了甲醇、水和乙烯在处于室温的粗糙氧化铌薄膜上的吸附行为，并与这些探针分子在规整和缺陷氧化铌薄膜上的吸附行为作了比较。粗糙氧化铌由Ｎｂ（１１０）氧化制得。结果表明，水和甲醇在粗糙氧化铌膜上的吸附均为解离吸附（在规整氧化铌膜上为非解离吸附），乙烯在粗糙氧化铌膜上的吸附为强化学吸附（而在规整氧化铌膜上为弱化学吸附）。这些结果说明了表面缺陷对分子的化学吸附和解离吸附的必要性。