【摘 要】
：
本文用Monte Carlo方法计算了溅射成膜过程中,溅射粒子从靶面到衬底的输运过程。用靶面水平磁场分布作为溅射粒子发射频度函数研究了溅射参数对溅射粒子的飞行轨迹、输运效率
论文部分内容阅读
本文用Monte Carlo方法计算了溅射成膜过程中,溅射粒子从靶面到衬底的输运过程。用靶面水平磁场分布作为溅射粒子发射频度函数研究了溅射参数对溅射粒子的飞行轨迹、输运效率和能谱分布的影响,并计算了淀积薄膜的均匀性,能与实验值很好地符合。
In this paper, the transport process of sputtered particles from the target surface to the substrate during sputter deposition was calculated by Monte Carlo method. The effect of sputtering parameters on the trajectory, transport efficiency and energy distribution of sputtered particles was studied by using the horizontal magnetic field distribution of target surface as a function of the emission frequency of sputtered particles. The uniformity of deposited films was also calculated. The value fits well.
其他文献
时值红石林业局建局三十年之际,谨致以真诚热烈的祝贺！ 红石林业局建局最晚,却是发展最快、变化最大的林业企业。三十年间,用严细管理企业竞争平台,奠定在行业中的竞争优势;
森林不仅是一种重要的自然资源,为人类提供大量的木材,而且森林又是一种环境资源,在净化空气、吸烟滞尘、涵养水源、保持水土、防风固沙、保护农田等方面,有着不可忽视的作
一盼政策早落实。湖北省已针对退耕还林下发了专文,相应给了许多优惠政策,诸如粮食补贴、种苗贴现和林地归属权,以及保障制等。但这些政策能否及时落到实处,农户还处观望态
各行政公署,各市、县人民政府,省政府各直属单位:3月15日,我省将全面进入春季森林防火期。为切实做好春季森林防火工作,确保国家森林资源和人民生命财产安全,特发布如下命令
据日刊《通研月报》No.3(1985)报道,日本 NTT 公司在研制超长波长(2微米以上)非石英系(如氟化物)光纤的同时,正在积极开展超长波长光检测器的研究
According to the Japan
2009年2月6号,自治区扶贫开发领导小组办公室召开全区扶贫办主任会议。会议充分肯定了2008年我区扶贫开发取得的成绩,分析了我区当前扶贫开发的形势和任务,明确了2009年扶贫
我们有一个很漂亮的教室,是我们五十个同学的“家”.rn一进门,你就会发现这个大约四十平方米的教室被布置得井井有条,前后两块黑板映衬出墙壁如雪一样白.教室的前面是一个棕
词和词类语言的三要素是语音、词汇和语法,语法是语言的构造规则,语法单位是有意义的语言单位,按从小到大的顺序,可分为语
The three elements of word and phrase language
新中国六十年来的区域发展史,一定程度上也可谓一部中国社会经济发展道路的探索史。对于一个自身具有特殊国情、没有任何现成模式可简单抄袭的发展中大国,“摸着石头过河”
我在教学陈然烈士所写的这首悲壮的诗歌时,是以充满诗意的方式来作总结的.实录如下: