差动位移传感器的激光干涉法自动检定

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介绍一种由双纵模双频激光干涉仪、微机、被检传感器及数据采集A/D卡、微机接口数据采集卡、机械及电动机构、步进电机驱动卡等组成的差动式位移传感器自动检定系统.实验证明,该检定系统具有良好的性能.
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