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期刊论文
日本电子特气业的技术与市场新观察
日本电子特气业的技术与市场新观察
来源 :全国特种气体第十八次年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:michael_lv
【摘 要】
:
本文综述了在2013年~2014年上半年间日本半导体用电子特气方面的市场变化,根据不同应用领域对电子特气的需求,开发出新技术和新装备,为电子特气大规模生产做贡献.
【作 者】
:
祝大同
【机 构】
:
中国电子材料行业协会经济技术管理部,北京100006
【出 处】
:
全国特种气体第十八次年会
【发表日期】
:
2014年11期
【关键词】
:
电子特殊气体行业
市场分析
技术进步
日本
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本文综述了在2013年~2014年上半年间日本半导体用电子特气方面的市场变化,根据不同应用领域对电子特气的需求,开发出新技术和新装备,为电子特气大规模生产做贡献.
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