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本文简介了 Vickels 公司 M41型 Z 轴检测显微镜的工作原理和测量方法,并测量了实验片。测量结果表明:此测量方法能够把条深控制在10%的公差范围内。
用检测显微镜测量条深
【摘 要】
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本文简介了 Vickels 公司 M41型 Z 轴检测显微镜的工作原理和测量方法,并测量了实验片。测量结果表明:此测量方法能够把条深控制在10%的公差范围内。
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1989年03期
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