【摘 要】
：
为了提高光刻机硅片台和掩模台的运动精度,建立光刻机精密运动平台的几何及运动误差模型。引入低序体阵列描述光刻机的拓扑结构,采用齐次坐标变换表达多体系统中典型体的几何
【机 构】
：
清华大学精密仪器与机械学系摩擦学国家重点实验室智能与生物机械分室,东北林业大学交通学院,
论文部分内容阅读
为了提高光刻机硅片台和掩模台的运动精度,建立光刻机精密运动平台的几何及运动误差模型。引入低序体阵列描述光刻机的拓扑结构,采用齐次坐标变换表达多体系统中典型体的几何和运动误差,应用多体系统运动学建立了系统的结构和运动关系以及相应的定位误差方程。进一步分析了光刻机的运动误差链,推导了光刻机运动通用误差模型。以某光刻机精密工作台为例进行误差建模与分析,该方法和结果可为光刻机精度设计提供参考。
其他文献
通过研究广西大学西校园水系，推测区域内水系面积与总面积达到雨水就地平衡的比例临界点，为破解城市因雨而涝的困局提供了一定的参考依据。
目的:研究stomatin样蛋白2(stomatin-like protein 2,SLP-2)对人子宫内膜基质细胞系T-HESC的增殖和分化的调控作用。方法:培养子宫内膜基质细胞系T-HESC,体外诱导蜕膜化,RT-q
现代纺织品印花涉及各种着色剂和技术,应用在产品开发过程的不同阶段以生产各种各样的印花纺织品。当今,棉布印花服装大都使用圆网印花,然而,数码印花和冷转移印花等较新印花
本文建立了采用离子色谱-氢化物发生原子荧光联用技术(HPLC-HG-AFS)进行As(Ⅲ)、As(Ⅴ)、MMA、DMA四种砷化合物形态分析的方法.对流动相、盐酸载流、还原剂、载气流速等条件
<正>"金无足赤,人无完人",这一点,对于所谓的"完人"曾国藩来说,同样是适用的。立言不足拿立言方面来说,虽然曾国藩所著的《曾国藩日记》《曾国藩家书》流传至今,但这些著作只
在我国，中小企业的物流管理水平比较低，物流资源呈现出分散和弱小的特点，这一方面对中小企业的市场竞争能力产生了不良影响，另一方面也导致了社会物流资源的严重浪费。所以在当下
改革开放以来,我国高校马克思主义理论教育受到了市场经济的影响和冲击,出现了种种困境,如马克思主义主导地位受到挑战、马克思主义理论教育受到轻视等。要走出困境,必须优化
本文采用理论与实证相结合的方法,立足于房地产具有消费品和投资品的两重特点,研究银行存贷款利率的调整对我国房地产业产生的影响。通过对上世纪九十年代末房改以来中国人民
化学发光免疫分析技术结合了化学发光的高灵敏性和免疫分析的高选择性,在临床检验、药物分析、环境监测等领域得到了广泛的应用,它也是继放射性免疫分析、酶免疫分析和荧光免
目的 :研究阿魏酸钠对冠心病的治疗效果。方法 :对阿魏酸钠治疗组 16 4例与复方丹参对照组 82例疗效对照观察。结果 :阿魏酸钠组疗效优于复方丹参组 ,有显著性差异。结论 :阿