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为了探索类金刚石薄膜激光损伤的原因,研究了在激光作用下类金刚石薄膜的光学性能和结构的变化.采用非平衡磁控溅射(UnbalanceMagnetronSputtering,UBMS)在Si基底上制备了无氢类金刚石薄膜(Diamond—LikeCarbon,DLC).利用激光损伤测试系统对无氢DLC薄膜进行激光辐照,激光波长为1064nm,脉宽为10ns.对辐照前后进行了透过率、激光损伤阈值(Laser—InducedDamageThreshold,LIDT)及拉曼光谱测试.研究结果表明:当激光辐照能量密度从0