多维驱动微型振动平台的研制

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一种以压电元件为驱动源 ,结合柔性铰链机构的微型振动平台 ,通过计算机设计控制电压波形 ,对其进行三维振动控制。通过实验证明 ,该机构具有良好的波形跟踪性能 ,易于实现复杂控制波形 ,适用于微型机械的动态性能测试。
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