【摘 要】
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一、引言 近年来,人们提出了一种叫做离子敏感场效应晶体管(Ion-Sensitive Field Eftect Transistor)的表面器件。它是微电子技术和其它具有敏感功能的新材料相互结合而产生
【机 构】
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西安交通大学半导体教研室,西安交通大学半导体教研室,西安交通大学半导体教研室 电子科学研究院
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一、引言 近年来,人们提出了一种叫做离子敏感场效应晶体管(Ion-Sensitive Field Eftect Transistor)的表面器件。它是微电子技术和其它具有敏感功能的新材料相互结合而产生的一种新型器件,它集中了微电子技术的一些特点,特别是这种器件可以微型化,可以做为一种新的微型探测器,用于医学、生物学、分析化学、环境保护等领域。从目前的研究来看,H~+-ISFET
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