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针对超薄型Al2O3易碎加工难的问题，提出激光微加工的方法。阐述了激光微加工的原理，通过声光调节激光器的品质因子Q值获取激光巨脉冲。论述了纳米孔Al2O3膜的电化学定向生长及其微加工过程，扫描电镜揭示了纳米孔Al2O3膜易碎易断的内在原因，加工区域略有灼烧现象。分析了激光输出脉冲频率和电流对陶瓷膜的刻槽深度和宽度的关系，影响区最小时，调Q频率在9kHz左右，电流应控制在10-20A。