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期刊论文
硅基MIS隧道二极管的研究
硅基MIS隧道二极管的研究
来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:woshirenaaa
【摘 要】
:
硅基MIS隧道发光二极管为制造用于超大规模集成电路的硅基光器件提供了可能性,报道了MIS隧道发光二极管的制作 过程,电流电压和发射光谱特性,讨论了负阻现象和发光机理。
【作 者】
:
俞建华
王启明
【机 构】
:
东南大学电子工程系,中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室
【出 处】
:
发光学报
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
MIS
隧道二级管
硅基
发光机理
light emission
MIS tunnel diode
surface plasmon
【基金项目】
:
国家自然科学基金,集成光电子国家重点实验室基金
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硅基MIS隧道发光二极管为制造用于超大规模集成电路的硅基光器件提供了可能性,报道了MIS隧道发光二极管的制作 过程,电流电压和发射光谱特性,讨论了负阻现象和发光机理。
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