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高频窄带声表面波滤波器
高频窄带声表面波滤波器
来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:cclone
【摘 要】
:
为满足温漂要求,同时避免驻波效应,利用剥离工艺在石英基片上制作了中心频率为1128MHz,3dB带宽为2.8MHz,插入损耗〉-12dB,带外抑制〉40dB的高频窄带表面波滤波器。
【作 者】
:
李勇
章德
【机 构】
:
南京电子器件研究所,南京大学声学研究所
【出 处】
:
固体电子学研究与进展
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
声表面波滤波器
剥离
准谐波
声表面波器件
SAWFLiftoffQuasiharmonic
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为满足温漂要求,同时避免驻波效应,利用剥离工艺在石英基片上制作了中心频率为1128MHz,3dB带宽为2.8MHz,插入损耗〉-12dB,带外抑制〉40dB的高频窄带表面波滤波器。
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