【摘 要】
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金刚石膜的电阻率是衡量金刚石膜性能的一个重要指标。由于各种因素的影响，沉积后的金刚石膜的电阻率比较低，还达不到实用要求，需要通过处理加以提高。介绍了几种后处理方法，并对
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金刚石膜的电阻率是衡量金刚石膜性能的一个重要指标。由于各种因素的影响，沉积后的金刚石膜的电阻率比较低，还达不到实用要求，需要通过处理加以提高。介绍了几种后处理方法，并对其优缺点进行了比较。
Diamond film resistivity is a measure of the performance of diamond film is an important indicator. Due to various factors, the resistivity of the deposited diamond film is relatively low, and it still can not meet practical requirements and needs to be improved through the treatment. Several methods of post-processing are introduced, and their advantages and disadvantages are compared.
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