【摘 要】
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探讨了直径为100μm的微型Ni-W电沉积金刚石磨具的制作方法及其在硅切槽中的加工特性,以评价该磨具的加工性能和优化制作条件。在制作磨粒直径为2～4μm的磨具时,通过射流搅拌
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探讨了直径为100μm的微型Ni-W电沉积金刚石磨具的制作方法及其在硅切槽中的加工特性,以评价该磨具的加工性能和优化制作条件。在制作磨粒直径为2～4μm的磨具时,通过射流搅拌电沉积溶液可获得较为均匀的磨粒分布,从而减小了磨具寿命的差异。关于磨具状态和磨具寿命,试验得出了最佳电流密度。从磨具寿命的角度出发,对磨削速度和进给量进行了优化。
The fabrication method of micro-Ni-W electrodeposited diamond abrasive with a diameter of 100μm and its processing characteristics in silicon slotting were discussed in order to evaluate the processing performance of the abrasive and optimize the fabrication conditions. In the production of abrasive particle diameter of 2 ~ 4μm abrasive, jet agitation electrodeposition solution can be obtained more uniform distribution of abrasive, thereby reducing the abrasive life difference. On the abrasive state and abrasive life, the test obtained the best current density. From the abrasive life point of view, the grinding speed and feed rate are optimized.
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