论文部分内容阅读
精密直线运动平台在宏微双驱动纳米定位系统中作为宏动台，用于实现大行程工作范围，解析其全工作行程上的振动特征。是微动台实现二级补偿运动的基础．通过构建以Labview软件为核心的虚拟仪器振动测试系统，采用小波变换方法对平台全工作行程运动过程中的振动测试数据进行分析，并与傅里叶变换分析方法进行了比较．由分析结果可知。两种分析方法得出了一致的结论，但小波变换分析方法可得到平台各个精确位置上的振动特性数据．实验证明，将其作为确定控制参数的依据，能改善平台的运动控制性能．