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介绍了一种低功率圆柱形阳极层离子源的工作特性和束流分布特性。离子源正常工作参数范围为工作电压200～1200V,放电电流0.1～1.4A,工作气压1.9×10-2～1.7×10-1Pa,气体流量5～20sccm。离子源有两个工作状态:发散状态和准直性状态。
低功率圆柱形阳极层离子源的性能研究
【摘 要】
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介绍了一种低功率圆柱形阳极层离子源的工作特性和束流分布特性。离子源正常工作参数范围为工作电压200～1200V,放电电流0.1～1.4A,工作气压1.9×10-2～1.7×10-1Pa,气体流量5～20scc
【机 构】
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核工业西南物理研究院
【出 处】
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核聚变与等离子体物理
【发表日期】
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2009年01期
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