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在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们在与微电子线路在一起形成高性能的闭环控制的微电子机械系统是一门新兴的边缘学科，也开辟了一个全新的工业加工领域。本文简述了微电子机械系统的研究现状及其基础技术。
微电子机械系统的研究现状
【摘 要】
：
在同一介质上，应用集成电路微细加工技术制作出尺寸在微米范畴的微机械部件，微传感器，微传动装置并将它们在与微电子线路在一起形成高性能的闭环控制的微电子机械系统是一门新兴
【机 构】
：
中科院电工研究所
【出 处】
：
电工电能新技术
【发表日期】
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1994年2期
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