【摘 要】
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最近,日本光电子联合研究室研究出一种新工艺,可使InP单晶成本降低90%,方法还能使晶体中杂质减少90%,完整性好.方法的特点是能从单质InP直接合成并生长成InP单晶,无需B_2O_3
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最近,日本光电子联合研究室研究出一种新工艺,可使InP单晶成本降低90%,方法还能使晶体中杂质减少90%,完整性好.方法的特点是能从单质InP直接合成并生长成InP单晶,无需B_2O_3作液封剂,利用反应器顶部磷蒸气的冷凝得到液体磷起液封作用.用一层薄液膜复盖InP混合物,以防止杂
Recently, the Japan Optoelectronics Research Laboratory has developed a new process that can reduce the cost of InP single crystal by 90% and reduce the amount of impurities in the crystal by 90%. The method is characterized by direct synthesis from elemental InP Grown into InP single crystal, without B_2O_3 as a liquid sealant, the top of the reactor using the condensation of phosphorus vapor liquid phosphorus from the role of liquid seal with a thin liquid film covered InP mixture to prevent miscellaneous
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