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采用水解酸化-厌氧-两级接触氧化工艺处理多晶硅废水中CODcr，CODcr去除率达到95％以上，出水符合《污水综合排放标准》（GB8978—1996）的一级排放标准。该工艺在进水营养单一的情况下，无需投加碳源，运行稳定，具有抗冲击负荷能力强、产泥少、污泥处理费用低、运行成本低、管理简单等优点，经济效益和环境效益明显。