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从高斯光束基本理论出发，分析了双光束的非交迭效应对Ｍａｃｈ－Ｚｅｈｎｄｅｒ极化干涉仪性能的影响，提出了改善极化干涉仪性能的途径，并在实验中得到了验证。用自制的有衬底的线栅极化器组装成的Ｍａｃｈ－Ｚｅｈｎｄｅｒ极化干涉仪，在波长在３３７μｍ（８９０ＧＨｚ）的条件下，测得调制比优于１９ｄＢ，插入损耗小于１ｄＢ．。