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RTP硅太阳电池的研究进展

来源 :云南师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：annybill1984

【摘 要】

：

用快速热处理(RTP, Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池p-n结开辟了一种新的低成本技术.这些年许多科研机构对RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的

【作 者】

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查超麟 刘祖明 陈庭金 李景天 张忠文 

【机 构】

：

云南师范大学能源与环境科学学院、太阳能研究所、云南省农村能源工程重点实验室,云南半导体器件厂

【出 处】

：

云南师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

RTP硅太阳电池 研究进展 快速热处理 快速扩散模型 制作工艺 扩散机理 RTP silicon solar cells  rapid thermal diff 

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)

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用快速热处理(RTP, Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池p-n结开辟了一种新的低成本技术.这些年许多科研机构对RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的研究.文章主要介绍了RTP快速扩散模型和回顾了RTP硅太阳电池的发展过程,提出了RTP硅太阳电池研究的一些发展方向.

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