【摘 要】
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声表面波化学传感器因高灵敏、便携而快速等优点被用来检测有毒有害气体。聚合物在声表面波敏感器件表面的旋涂技术是研究的热点。用旋涂法把溶于丙酮的氟硅氧烷聚合物溶液在
【机 构】
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华东理工大学材料科学与工程学院特种功能高分子材料及其相关技术教育部重点实验室,中国船舶重工集团公司第七一八研究所,中国电子科技集团公司第26研究所
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声表面波化学传感器因高灵敏、便携而快速等优点被用来检测有毒有害气体。聚合物在声表面波敏感器件表面的旋涂技术是研究的热点。用旋涂法把溶于丙酮的氟硅氧烷聚合物溶液在声表面波器件表面制备成膜。通过网络分析仪，对在基片不同的旋涂区域和不同聚合物粘度对敏感芯片的品质因数和插入损耗的差异的分析、对比，确定环基片中心区为成膜的最佳旋涂区域，聚合物溶液增比粘度小于0．34时对成膜质量影响较小。
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