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提出了基于光热(PT)微膨胀原理的新型光热微驱动技术.设计了一种能将纵向光热膨胀转化成横向偏转的微驱动器.以AutoCAD设计图为基础,采用KГF准分子激光微加工系统,在单层高密度聚乙烯(HDPE)上加工出长1500μm、宽250μm、厚40μm的开关式光热微驱动器.从微驱动器的扫描电子显微镜(SEM)图可以看出,微驱动器形状与AutoCAD设计值符合良好.光热微驱动实验采用脉冲频率可调的半导体激光器(4mW,650nm)作为驱动源.实验结果表明,在一定的脉冲频率范围(如0~17Hz)内,光热微驱动器具有