【摘 要】
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微细电加工技术已成为解决介观尺寸范围内的导电材料的精密加工问题的重要工艺手段，但该技术目前的综合加工效率较低，使其难以满足当前大量微细加工的高效需求，主要原因包括：电极
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微细电加工技术已成为解决介观尺寸范围内的导电材料的精密加工问题的重要工艺手段，但该技术目前的综合加工效率较低，使其难以满足当前大量微细加工的高效需求，主要原因包括：电极损耗快导致其需要反复修整、脉冲能量需要与加工精度和表面质量匹配导致脉冲能量受限。对此，围绕提升微细电加工效率，从并行加工结构、高频脉冲电源、电极在位制备和多工艺集成等多方面提出了多项关键措施，通过加工验证实验，使现有的微细电加工效率具有较明显的提升。
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