【摘 要】
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<正> 介绍随着集成电路的规模越来越大,系统越来越复杂,输入与输出的压点数目将达到少则|,多则几佰个。由此,硅片上芯片的探针测试,即初测成为在集成电路制造过程中的一个重
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<正> 介绍随着集成电路的规模越来越大,系统越来越复杂,输入与输出的压点数目将达到少则|,多则几佰个。由此,硅片上芯片的探针测试,即初测成为在集成电路制造过程中的一个重要的工序。在探针测试过程中,其测量程序扮演着极其主其主要的角色。因为,初测的结果起到了承上启下的作用,初测结果和PCM测量结果能够给硅片生产线反馈丰富的对于稳定和提高产品合格率与产品质量极有价值的信息。同时,初测数据对于控制产品成测合格率和产品QC水平以及控制产品整个生产成本在一个合理的水平,有着不可取代的作用。所以,初测
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