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本文介绍MCM对介质材料的一般要求，不同MCM使用的介质及其成膜技术，重点介绍以聚酰亚胺为代表的有机介质材料的性能及其相关制造技术。
MCM用的介质材料及其成膜技术
【摘 要】
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本文介绍MCM对介质材料的一般要求，不同MCM使用的介质及其成膜技术，重点介绍以聚酰亚胺为代表的有机介质材料的性能及其相关制造技术。
【机 构】
：
航天总公司西安微电子技术研究所,710054
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1994年6期
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