高温真空镀膜夹具的设计

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对于要求整面镀膜的大规格玻璃面板,镀膜环境为高温的情况下,采用传统夹子夹持的方法,不能满足大规格玻璃整面镀膜的需要。提出一种新的思路,并设计了新夹具解决此问题。应用玻璃基片及金属材料热膨胀系数不同的特性,设计铝合金与耐热钢组合的夹具抵消高温引起的变形,利用玻璃基片的倒边来支承玻璃。
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