工程陶瓷激光切割工艺的试验研究

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研制了机械斩光盘式调Q脉冲CO2激光器,获得了高峰值功率、短脉宽、高重复频率和较高的平均功率的脉冲激光输出。用此激光器,对以热压烧结Si3N4为代表的工程陶瓷进行了切割试验,运用高切割速度多次重复走刀切割工艺,获得了无裂纹的精细切口。对微裂纹的形成和消除从理论上进行了分析。
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