【摘 要】
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<正> 一、前言 扫描电镜(SCANNiNG ELECTRON MICROSCOPE简称SEM)于1932年由德国人Knoll提出,1938年Von Ardenne便制成了一台透射分辨率为500的仪器。但受到当时电子技术条件
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<正> 一、前言 扫描电镜(SCANNiNG ELECTRON MICROSCOPE简称SEM)于1932年由德国人Knoll提出,1938年Von Ardenne便制成了一台透射分辨率为500的仪器。但受到当时电子技术条件的限制,拍摄一张照片需要一小时以上的时间,因此,这种仪器在当时并没有多大实用价值。1957年英国剑桥大学的仪器采用了光电倍增管,使呈象质量大为提高,获得200—600的分辨率。其后,英、美、德、日和苏联等国的科学仪器工作者都对SEM的发展作出过贡献,使得1965年商品仪器的分辨率达到250的保证指标。现在,一般大型的SEM均能达到100的保证指标。
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