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用Ｘ射线衍射法，对经不同条件热处理后的Ａｇ／Ｎｉ超晶格薄膜的结构进行研究。结果表明，未经热处理的超晶格膜显示良好的人工双元素层调制周期性，且存在（１１１）晶向垂直于膜面的结构。升温时的应变弛豫使超晶格膜的晶格沿垂直于膜面方向发生轻微收缩，直至达平衡态。热处理形成新晶粒，其取向不再严格有序，减弱了薄膜的（１１１）织构，加热所激发的原子长程扩散导致一些元素层厚度减小并趋于消失，而另外的元素层厚度增大，