In2O3纳米粉体的制备及其气敏性能研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:walker1116_2009
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以In2(SO4)3为原料,通过sol-gel法制备了立方晶系的In2O3粉体.利用 X射线衍射仪、透射电镜对材料的组成、晶粒的大小、结构进行了表征.结果表明,产物为平均粒径30 nm左右的圆球形颗粒.将前驱体分别在不同温度下进行热处理,对其气敏性能研究发现,900℃热处理的元件,在工作温度245℃时,对50×10-6 Cl2表现出较好的灵敏度(1.5×104)和选择性.600℃热处理的元件,在工作温度245℃时,对50×10-6 NO2的灵敏度高达2.5×105.
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