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The evolution of stress in evaporated SiO
蒸发沉积二氧化硅薄膜的应力演化
【摘 要】
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The evolution of stress in evaporated SiO
【机 构】
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KeyLaboratoryofMaterialScienceandTechnologyforHighPowerLasers,ShanghaiInstituteofOpticsandFineMechan
【出 处】
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ChineseOpticsLetters
【发表日期】
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2010年8期
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