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A STUDY OF PLASMA PROPERTIES FOR VARIOUS MAGNETIC FIELDS IN A MICROWAVE MULTIPOLAR ECR PLASMA

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huangzhijian2006

【摘 要】

：

【正】 A sputtering-type microwave multipolar ECR plasma processing for preparing thin films, is built with Nd-Fe-B magnets and 2.45 GHz, TE₁₀ mode m

【出 处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1992年Z1期

【关键词】

：

MICROWAVE multipolar PLASMA ECR magnetic field strength PLASMA PARAMETERS microw 

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【正】 A sputtering-type microwave multipolar ECR plasma processing for preparing thin films, is built with Nd-Fe-B magnets and 2.45 GHz, TE₁₀ mode microwave. The plasma distributions in the axial direction, which is important for prep

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