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本工作通过比较端视与侧视ICP的分析性能，研究了端视ICP系统对稀土元素的分析特性。高频发生器输出功率与载气流量对端视与侧视ICP激发特性的影响没有明显差异，取光方式的不同是二者分析性能差异的根本原因。端视ICP由于取光时避开了产生连续背景的环形热区和截取了整个中心通道的光谱．其背景减小，谱线强度增强，获得较好的测定下限。对14种稀土元素测定下限的比较表明：端视ICP比铡视ICP下降10-30倍。