直线度分析仪样机设计及其检测精度分析

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针对大长度范围直线度测量的要求,根据光学自准直原理研制出一台高精度直线度分析仪,其精度达到0.1″,而1,以内的示值误差小于0.5″。通过与ELCOMAT 3000型自准直仪的测角结果对比,两组检测数据非常接近,可知此分析仪能满足对应于直线度为0.5μm的测角参数。对此仪器在检测过程中可能出现的不确定度进行了定量分析,得到了实验过程中相应的整体标准不确定度为0.23″。
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