【摘 要】
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本文集中报导了不同硅烷浓度条件下,制备的系列硅薄膜电学特性和结构特性的分析研究。结果表明:随着硅烷浓度的逐渐减小,材料逐渐地由非晶向微晶转变。傅立叶变换红外吸收 (F
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所; 天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室; 光电信息技术科学教育部重点实验室(南开大学; 天津大学) 天津300071; 天津
【基金项目】
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国家“973”重大基础研究项目 (No.G2000028202;G2000028203 );教育部项目 (No. 02167 );国际合作项目 ( 2002DFG00051 );“863”重大项目(No. 2002303261)
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本文集中报导了不同硅烷浓度条件下,制备的系列硅薄膜电学特性和结构特性的分析研究。结果表明:随着硅烷浓度的逐渐减小,材料逐渐地由非晶向微晶转变。傅立叶变换红外吸收 (FTIR)的测试结果表明:微晶硅材料存在着自然的不稳定性,表现为氧含量随着时间的推移而增多。而且,微结构因子(IR)的结果给出:对于适用于电池有源层的微晶硅材料来说,其IR不能太大,也不能太小,本实验中相对好的微晶硅材料其IR为 31%。
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