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利用共沉淀法制备了ZnSnO3粉体，通过直流溅射制备了气敏薄膜。研究了老化温度、薄膜的组成对气体的灵敏度影响。实验结果表明1600℃老化后，气敏膜薄膜的主要成分是ZnSnO3，在450℃时，该薄膜对乙醇灵敏度约为650，有望开发成酒敏元件。
ZnSnO3气敏薄膜的制备和性能
【摘 要】
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利用共沉淀法制备了ZnSnO3粉体，通过直流溅射制备了气敏薄膜。研究了老化温度、薄膜的组成对气体的灵敏度影响。实验结果表明1600℃老化后，气敏膜薄膜的主要成分是ZnSnO3，在450
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,上饶师范学院化学系,上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2006年7期
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