机电一体化技术的发展

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一、前言当前世界上正在进行着一场新的技术革命,在这场革命中,微电子技术首当其冲,影响面最大。IC问世列现在仅仅25年,就巳从小规模集成电路发展到LSI和VLSI了。现在在不足1cm~2的硅片上能集成10万个以上的电子元件,象32位微处理机有225000个/芯片元件,64K位S—RAM,和256K位D—RAM等,微电子技术开拓了新的应 I. INTRODUCTION The current world is undergoing a new technological revolution. In this revolution, microelectronics technology bears the brunt of the greatest influence. With only 25 years of IC development, IC has evolved from small-scale ICs to LSIs and VLSIs. More than 100,000 electronic components can now be integrated on silicon chips less than 1cm~2, like 32-bit microprocessors with 225,000/chip components, 64K-bit S-RAM, and 256K-bit D-RAM, etc., Microelectronics technology Open up new applications
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